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LD共晶貼片機貼片工藝

2021-08-12

    貼片工藝是HPLD制造中最關鍵的封裝步驟。在此過程中,采用金錫共芯片貼片工藝將單管或Bar條芯片銜接到散熱基板。

芯片和散熱基板之間的接合通常是運用共芯片貼片技術的金錫焊料。HPLD芯片可以是單管激光芯片,也可以是多管的bar條激光芯片。LD共晶貼片機貼片工藝關于HPLD產品的光學效率和現場可靠性至關重要。[敏感詞]重點引見此關鍵過程的一些應戰:

    (1)高精度

         HPLD在單管或bar條芯片的發光面與散熱器基板邊緣之間具有高精度的位置央求。通常,貼片后結果從發光面到基板邊緣應該沒有凹陷,并且發光面的突出部分應小于5-10μm。為此,LD共晶貼片機的貼片精度通常應<±2.5μm。而激光管芯和襯底的邊緣也可能具有<1μm的公差。因此,機器的精度必需<±1.5μm。

    (2)共芯片質量

    除了位置精度外,回流工藝中的溫度曲線關于HPLD貼片工藝也非常關鍵。在共芯片過程中,需求特別留意在芯片和散熱基板之間完成細微,均勻且無空泛的共芯片界面,以便有效且均勻地散熱。這就央求貼片機對整個貼片區域具有[敏感詞]而均勻的共芯片回流溫度控制。HPLD貼片過程需求具有快速升溫/降溫的可編程均勻共芯片加熱臺,并且共芯片期間的溫度必需堅持穩定。LD共晶貼片機加熱階段還必需具有維護氣體掩蓋,以防止共芯片表面氧化,從而獲得良好的鋟潤性,并在冷卻時構成無空泛的界面。

    (3)共面性&無空泛

    隨著HPLD芯片功率的增加,單管芯片變得更長,某些芯片尺寸長寬比也變得越來越大,例如長寬比>10。Bar條類的HPLD是極具應戰性的,由于它的分別表面積大,放大了鍵合后的特性缺陷,如空泛率%和Bar條傾斜角度。HPLD單管或bar條芯片與散熱基板之間的準確共面性也非常關鍵,由于它會影響空泛率和惹起應力。因此,缺乏準確共面性會影響HPLD產品的性能和可靠性。假定沒有良好的共面性控制,由于共芯片后在bar條中構成的剩余應力,bar條可能會發作翹曲,通常被稱為“笑容”曲線。長芯片可能會產生散熱不均的情況,從而沿單管芯片長度方向產生熱應力。在共芯片回流期間,各種尺寸的單管芯片或激光bar芯片需求不同的貼合力和[敏感詞]的受力控制。


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